(1)基本误差:指在规定条件下的误差。位移传感器在制造厂出厂前，都要在规定的条件下进行校验。规定条件一般包括环境温度、相对湿度、大气压力、电源电压、电源频率、安装方式等。基本误差是产品本身所固有的，它与产品的结构原理，元器件质量和装配工艺等因素有关，基本误差的大小常用产品的精度等级来表示。
(2)绝对误差: 对同一参数进行测量时，仪表指示值x与标准表的指示值之差称为绝对误差，即 标准表的指示值 称作为标准值或真实值。
(3)附加误差：位移传感器在非规定的参比工作条件下使用时另外产生的误差。如电源波动附加误差，温度附加误差等。
(4)相对误差: 绝对误差的大小并不能完全精确地判断测量的准确程度。原因是，同样的绝对误差，相对于很大的被测量来说是小的，甚至可以忽略不计，但相对较小的被测量来说，则是很大的，应引起足够多的重视，这样就引出了相对误差。
(5)测量误差：使用位移传感器测量参数时，测量的结果不可能绝对准确。这不仅因为位移传感器本身有基本误差，而且还因为从开始测量到最后读数，要经过一系列的转换和传递过程，其中受到使用条件、安装条件、周围环境等一系列因素影响，也要产生一定的误差。所以在很多情况下，产品测量值值与标准值(真实值)之间存在着一个差值，这个差值称为测量误差。通常情况下，测量误差大于基本误差，因为测量过程还产生-二些附加误差。
(6)引用误差: 即折合误差，又称相对百分误差。它是校验过程中仪表的最大绝对误差相对仪表标尺范围(量程范围)的百分数。
