目前国内外的小量程(5~25mm行程)的电阻式直线位移传感器其线性精度误差一般最好的在+-0.3%左右,很难突破做到+-0.1%的线性精度内.比如德国或是美国进口的电阻式位移感测器最好的线性误差也是在+-0.2%附近,其原因是因為小行程的位移感测器其总的位移行程很短,而在这很短的行程内修刻电阻体或是检测电阻体时对修刻设备的精度及检测设备的精密度都是很高的要求,再加上电阻体印刷时每个行程位置的厚薄都不一样,且修刻出来电阻体的电压值跟位移量其线性度因為要在很小的行程取多点的电压值所以误差会比相对大行程取相同点数的电压值来的大(如下图所示),所以小行程电阻式位移感测器之线性精度很难让其修刻后的线性精度达到+-0.1%.
直线位移传感器量测行程大小之量测取点数对线性精度的引响.
