同一只探头，同一个位置，从下往上逼近测一次、从上往下再逼近测一次，两个数差了几微米。很多人第一反应是探头坏了，送到厂里一测又是好的。这其实是迟滞，它不写在分辨率那一行，也不写在线性度那一行，很多样本干脆不列。
迟滞和回差是两件事
现场口语把这两个混着说，改法却完全不同。
迟滞是加载再卸载、同一点读数回不来，来源在探头内部：铁芯与线圈的磁滞、导向件的微量弹性变形。探头出厂就是这样，改不了。
回差是机械间隙造成的空程，来源在结构上：导向件间隙、夹套松动、传动链松动。这部分能靠工装收紧。
区分它们意义很大：如果来回差值是恒定的几微米、且与行程位置无关，多半是回差，紧工装就行；如果差值与位置有关、在某一小段特别明显，更像迟滞，换探头才解决。
现场怎么把迟滞单独量出来
用千分尺或量块做基准，从小到大测五个点，再从大到小测五个点，同一个位置两次读数之差取最大值，除以满量程。
举个数：FER8 8mm 量程，某个位置来回差 16μm，16 除以 8000 约等于 0.2%，也就是 0.2%FS。
三个细节决定这个数准不准。中间要停一下，让读数稳定再记；每次同方向逼近，不要在中途反向，否则回差混进迟滞里；基准要够硬，别拿薄板当基准。
差值里有多少是探头、多少是工装
把探头拆下来夹在刚性支架上，顶着量块做一遍前面那个来回测量，这是探头的真实迟滞。再装回实际工装、顶着实际工件做一遍，两个结果一减，多出来的就是工装贡献。
工装贡献通常来自三处：夹套没夹紧、支架是悬臂结构会变形、测头与被测面之间有滑动摩擦。侧向力会把这三个问题全部放大，见笔式 LVDT 怎么装。
如果差值主要来自测头摩擦，换个测头形式往往立竿见影，见测头怎么选。
公差带里要不要给迟滞留位置
看你的测量动作。
如果是“到了位置就停、只读一次”，用时方向固定，迟滞不影响判定。如果是来回都要读同一个点、还要求两次一样，迟滞就直接吃公差。
算一笔账：公差带 ±20μm，迟滞 0.2%FS 在 8mm 量程上是 16μm，来回两次已经吃掉公差带的五分之四，剩下的余量连工件本身的波动都不够。
三条出路：换精密款把线性度从 ±0.3%FS 收到 ±0.1%FS；缩短量程减少同一百分比的微米数，办法见±0.3%FS 是多少微米；或者干脆把测量动作固定成单向逼近。
顺便说一句，迟滞和重复性、分辨率不是一回事。重复性是同方向反复测的散度，迟滞是反方向回来的偏移，两个数都合格才算稳。
依据
迟滞与回差的定义按计量通用表述整理，现场测量方法依据本站既有安装与精度类文章。本文用到的本站数字：FER8 量程 8mm/10mm、分辨率 ≤0.1μm、重复误差最高约 1μm、线性度普通款 ±0.3%FS、精密款 ±0.1%FS。
明确没写进 FER 的行业规格：本站样本未单列“迟滞”这一项参数，文中 16μm、0.2%FS 是按 8mm 量程做的换算示例，不代表任何型号的实测迟滞值。具体型号的迟滞指标请按型号询问。